爐子的安裝質(zhì)量不好將會使壓升率達(dá)不到技術(shù)要求，長期使用之后，真空爐的壓升率也會增大。當(dāng)真空度壓升率惡化到一定程度后，處理零件的表面質(zhì)量下降，加熱元件的使用壽命會明顯降低，這是需要對爐子檢漏，并排除漏氣原因。檢漏及排除漏氣因素的目的就是使漏氣率達(dá)到技術(shù)條件要求。1） 由于存在漏孔產(chǎn)生的漏氣； 2） 由滲透產(chǎn)生的漏氣；滲透式指氣體不是通過固體中的漏孔方式漏氣的現(xiàn)象，而是氣體吸附在固體的高壓一側(cè)表面上，然后沿濃度梯度向固體低壓的一側(cè)擴(kuò)散。在真空爐中的金屬、玻璃、橡皮、陶瓷等材料，都是可以滲透氣體的。

檢測真空系統(tǒng)的壓升率可以使用壓強(qiáng)時間關(guān)系曲線來尋找。從曲線中可見，在抽氣過程中，開始真空爐的壓力降低很快，之后達(dá)到穩(wěn)定，關(guān)閉真空閥門之后，爐內(nèi)的壓力值變化可以用1、2、3曲線表示。

曲線1是一條具有一定斜率的直線，它是漏氣造成的，即漏孔和滲透造成的漏氣。

曲線2所示的情況是：開始階段壓強(qiáng)上升較快，之后漸漸變慢，最終達(dá)到壓力不再變化的平衡階段。這種情況表示真空系統(tǒng)沒有漏氣，系統(tǒng)內(nèi)僅僅存在除氣過程。除氣過程將隨時時間延長而減弱。

曲線3表明：開始時壓強(qiáng)上升減慢，最后在時間t₂處變?yōu)榕c直線1呈同樣斜率的直線段，這說明曲線3是由漏氣和除氣兩過程綜合作用的結(jié)果。隨著時間的延長，除氣速度逐漸減慢，在t₂時間處除氣過程已可忽略，漏氣過程成為主要過程。